1、 半導體電子潔凈車間布局要求
半導體電子潔凈車間從布局上是一個獨立的空間,在車間外圍設置一環形密封走廊它使潔凈區與外界有了一個緩沖地帶,能夠防止外界污染同時也相對節能。 潔凈車間內門窗宜于內墻面平整, 不設置窗臺。 外窗的層數設置和結構形式要充分考慮對空氣水分的密封, 使污染粒子不易從外部滲入。 為防止室內外溫差而產生結露, 室內不同潔凈度的房間之間的門窗縫隙要密封。 門窗材料應選擇耐侯性好, 自然變形小, 制造誤差小, 氣密性好的, 造型要簡單, 不易積塵, 便于清掃, 門框不設門檻。 潔凈車間的門窗宜用金屬或金屬涂塑材料, 不得使用木門窗, 以免長期受潮長菌。 外墻上的窗宜與內墻面平整, 窗臺呈斜角或不留窗臺, 且為雙層固定窗以減少能量損失。
2、 半導體電子潔凈車間地面裝修要求
無塵廠房裝修地面應用平整, 無縫隙, 耐磨耐腐蝕, 不易集聚靜電的, 便于清理的整體地面。設計中可以采用現澆水磨石地面, 所用石子直徑應在 6-15mm 之間。 其中分隔條必須采用銅條分隔, 不得采用玻璃條。 現多采用環氧自流坪地面, 它是一種樹脂類復合材料地坪。 它的特點是無溶劑、 無毒無味、 無接縫、 自流找平。 可以達到鏡面裝飾效果、 無縫連接、 耐油類及酸、 堿、 鹽化學溶劑。 具有防靜電, 發塵小, 耐磨耐沖擊等特點但是造價高。 大多采用于要求高潔凈度、 外表美觀、 無塵、 無菌的電子、 醫藥、 血液制品等行業生產車間地面。 環氧自流坪地面的使用壽命厚度 1mm 以上一般可使用 6 年以上。 以上地坪地面墊層下應鋪設防潮層, 混凝土分倉線不宜通過潔凈區。
3 、 半導體電子潔凈車間墻面裝修要求
半導體電子潔凈車間裝修墻面應光滑、 平整不起塵, 耐腐蝕, 色彩和諧, 便于識別污染物,內墻涂料必須采用防霉、 防靜電、 避免眩光并能耐受清洗和消毒的材料涂刷。 墻面與地面相交處宜做半徑 50 毫米的圓弧, 以減少灰塵積聚和便于清潔。 運輸走廊等易撞處墻邊宜設置防撞欄桿, 防止因裝修材料震動而灰塵脫落。
4、 半導體電子潔凈車間送風管、 燈具必須布置在技術夾層里
潔凈廠房為了保證室內清潔, 所有送風管, 燈具必須布置在技術夾層里。 現在大多數制藥企業采用彩鋼夾心板密封吊頂。 彩鋼夾心板具有重量輕, 整體強度大, 整體性好, 保溫隔熱發塵小等特點, 比較適用于 GMP 生產廠房。 但是吊頂的固定必須于結構主體相連, 不能與設備, 管線支架混用。 吊頂與墻面要光滑連接。 吊頂與送回風管口要可靠封閉。 吊頂安裝完成后要進行燈檢, 保證無縫隙。 根據工藝要求, 一般在技術夾層內應設置檢修走道, 便于管道的檢修和更換過濾器。 技術夾層的墻面與天棚需刷涂料飾面。